著錄信息
- 專利名稱：紅外探測器像元應(yīng)力的監(jiān)控結(jié)構(gòu)及監(jiān)控方法
- 專利類型：發(fā)明
- 申請?zhí)枺?/em>CN200810201308.7
- 公開(公告)號：CN101386401B
- 申請日：20081016
- 公開(公告)日：20131009
- 申請人：上海集成電路研發(fā)中心有限公司,浙江大立科技股份有限公司
- 發(fā)明人：康曉旭,姜利軍
- 申請人地址：201203 上海市張江高科技園區(qū)碧波路177號華虹科技園4樓B區(qū)
- 申請人區(qū)域代碼：CN310115
- 專利權(quán)人：上海集成電路研發(fā)中心有限公司,浙江大立科技股份有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：B81B7/02,G01J5/10,B81C1/00,B81C5/00
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機(jī)構(gòu)：上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
- 代理人：鄭瑋
- 審查員：陸帥
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進(jìn)入國家日期：無
- 分案申請：無
關(guān)鍵詞
紅外探測器,金屬反射層,金屬電極,電極板,監(jiān)控結(jié)構(gòu),敏感材料,翹曲,監(jiān)控,圖形化處理,電容特性,電容值隨,工藝制造,極板間距,監(jiān)控方法,應(yīng)力影響,電容值,犧牲層,支撐層,極板,監(jiān)測
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